真空領域分類

 

真空領域 (Category)       壓力範圍            (Pa)   氣體分子密度       (個/cm2)
低真空

大氣壓(105)

~ 102

3 x 1019

~ 3 x 1016

中真空

      102 ~ 10-1

3 x 1016

~ 3 x 1013

高真空

      10-1 ~ 10-5

3 x 1013

~ 3 x 109

超高真空

      10-5 ~ 10-8

3 x 109  

~ 3 x 106

極高真空           < 10-8       <3 x 106

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