真空領域分類
大氣壓(105) ~ 102 3 x 1019 ~ 3 x 1016 102 ~ 10-1 3 x 1016 ~ 3 x 1013 10-1 ~ 10-5 3 x 1013 ~ 3 x 109 10-5 ~ 10-8 3 x 109 ~ 3 x 106
真空領域 (Category)
壓力範圍 (Pa)
氣體分子密度 (個/cm2)
低真空
中真空
高真空
超高真空
極高真空
< 10-8
<3 x 106
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