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真空領域分類
| 真空領域 (Category) | 壓力範圍 (Pa) | 氣體分子密度 (個/cm2) |
| 低真空 |
大氣壓(105) ~ 102 |
3 x 1019 ~ 3 x 1016 |
| 中真空 |
102 ~ 10-1 |
3 x 1016 ~ 3 x 1013 |
| 高真空 |
10-1 ~ 10-5 |
3 x 1013 ~ 3 x 109 |
| 超高真空 |
10-5 ~ 10-8 |
3 x 109 ~ 3 x 106 |
| 極高真空 | < 10-8 | <3 x 106 |
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